Ultra szybkie wygrzewanie Rapid Thermal Processing (RTP)

Oferujemy procesy ultraszybkiego wygrzewania podłóż krzemowych z możliwością szybkości nagrzewania do 200°C/s. Specyfikacja procesu:

wygrzewanie podłóż o rozmiarach 100 mm/4”, 150 mm/6”, 200 mm/8” z szybkością grzania do 200°C/s,
wygrzewanie podłóż o nieregularnych kształtach z szybkością grzania do 20°C/s,
maksymalna temperatura procesu: 1 400oC,
procesy mogą być prowadzone w atmosferze gazów N2, Ar, O2, H2, NH3, N2O,
możliwość wygrzewania pod obniżonym ciśnieniem.

Słowa kluczowe: RTP, Rapid Thermal Processing, wygrzewanie, wygrzewanie warstw