Pomiary elipsometryczne

Wykonujemy kompleksowe pomiary elipsometryczne próbek wraz z ich analizą. Oferujemy:

możliwość badania podłoży o maksymalnej średnicy 200 mm,
wyznaczanie grubości cienkich warstw z materiałów przepuszczających lub częściowo przepuszczających światło,
szacowanie składu materiałów wieloskładnikowych,
pomiar grubości materiałów wielowarstwowych oraz wyznaczanie parametrów optycznych tych warstw,
mapowanie (2D) wyznaczanych parametrów (grubości i parametrów optycznych) na powierzchni próbki,
zakres spektralny pomiaru od 190 nm do 2 100 nm,
zakres ruchu kątowego ramion od 40° do 90°,
bogatą bazę materiałów umożliwiająca dopasowanie modelu do warunków pomiarowych i mierzonych materiałów.

Słowa kluczowe: elipsometr, pomiary elipsometryczne, analiza elipsometryczna, szacowanie składu, pomiar grubości, mapowanie 2D