Pomiary elipsometryczne
Oferujemy kompleksowe pomiary elipsometryczne próbek wraz z ich analizą
- Możliwość badania podłoży o max. średnicy 200 mm
- Wyznaczanie grubości cienkich warstw z materiałów przepuszczających lub częściowo przepuszczających światło;
- Szacowanie składu materiałów wieloskładnikowych
- Pomiar grubości materiałów wielowarstwowych oraz wyznaczanie parametrów optycznych tych warstw;
- Mapowanie (2D) wyznaczanych parametrów (grubości i parametrów optycznych) na powierzchni próbki.,
- Zakres spektralny pomiaru od 190 nm do 2100 nm
- Zakres ruchu kątowego ramion od 40° do 90°
- Bogata baza materiałów umożliwiająca dopasowanie modelu do warunków pomiarowych i mierzonych materiałów.
Każdy proces jest wyceniany indywidualnie w zależności od potrzeb klienta. W celu otrzymania wyceny prosimy o kontakt: seminsys.cezamat@pw.edu.pl.