Wygrzewanie
Oferujemy proces wygrzewania dużych partii podłoży półprzewodnikowych w kontrolowany sposób. W ramach usługi możliwe jest:
- wygrzewanie w atmosferze azotu, argonu i/lub w mieszaninie azotu i wodoru w temperaturze do 1 200°C,
- procesowanie w powtarzalny sposób dużych partii w jednym procesie: 25 podłóż o średnicy 200 mm/8’’ oraz 50 podłóż o średnicy 100 mm/4’’ i 150 mm/6’’.
Słowa kluczowe: wygrzewanie, wygrzewanie kontrolowane
kontakt: uslugi.cezamat@pw.edu.pl