Profilometria stykowa

Oferujemy pomiar topografii powierzchni metodą kontaktową w celu zmierzenia grubości powłoki, chropowatości, naprężeń oraz defektów technologią profilometrii stykowej. Dysponujemy urządzeniem Bruker DektakXT z trzyosiowym pozycjonowaniem i możliwością badania również miękkich materiałów. Wykonywane są profile pojedynczych linii pomiarowych, zautomatyzowane sekwencje, jak i wizualizacje 3D topografii powierzchni.

Zakres funkcjonalności:

  • Sterowany numerycznie stolik X/Y, zapewniający przesuw na długości 200/200 mm ze zmotoryzowaną rotacją w zakresie 0-360. 
  • Maksymalna długość pojedynczego skanu: 55 mm. Możliwość zwiększenia długości skanowania do 200 mm dzięki funkcji zszywania profili (stiching).
  • Maksymalna wysokość (grubość) próbki na stole pomiarowym: 50 mm
  • Stolik podciśnieniowy o średnicy 200 mm dostosowany do pomiaru wafli krzemowych.
  • Mikroporowaty podciśnieniowy stolik o wymiarach 150 mm x 150 mm
  • Profilometr umieszczony jest na pneumatycznym stole antywibracyjnym w celu redukcji szumów pomiarowych

Parametry głowicy pomiarowej:

  • Siła nacisku sondy od 10-147 µN z możliwością redukcji aż do 0,3 µN dla szczególnie delikatnych próbek lub materiałów miękkich
  • Pionowy zakres pomiarowy (wysokość stopnia): 1 mm
  • Rozdzielczość mierzonej wysokości od 15 nm w zakresie 0-1 mm do 0,1 nm w zakresie 0-6,5 µm.
  • Igła pomiarowa o promieniu zaokrąglenia 2 μm
  • Igła pomiarowa o promieniu zaokrąglenia 12,5μm
  • Układ optyczny umożliwiający podgląd igły skanującej podczas pomiaru oraz obserwację powierzchni próbki

Obróbka danych i analiza:

  • Wyliczanie parametrów chropowatości i topologii: Ra, Rq, Wa, ASH i wiele innych
  • Możliwość filtrowania artefaktów makrogeometrycznych: nachylenia, falistości, okrągłości
  • Funkcja automatycznej detekcji stopnia.
  • Możliwość automatyzacji sekwencji pomiarowej na podstawie markerów próbki
  • Możliwość wykonania map 3D topografii powierzchni z rozdzielczością stitchingu poprzecznego do 1 µm

Osoba kontaktowa:

Piotr Walter / piotr.walter.dokt@pw.edu.pl

Skip to content