Pomiary elipsometryczne

Oferujemy kompleksowe pomiary elipsometryczne próbek wraz z ich analizą

  • Możliwość badania podłoży o max. średnicy 200 mm
  • Wyznaczanie grubości cienkich warstw z materiałów przepuszczających lub częściowo przepuszczających światło;
  • Szacowanie składu materiałów wieloskładnikowych
  • Pomiar grubości materiałów wielowarstwowych oraz wyznaczanie parametrów optycznych tych warstw;
  • Mapowanie (2D) wyznaczanych parametrów (grubości i parametrów optycznych) na powierzchni próbki.,
  • Zakres spektralny pomiaru od 190 nm do 2100 nm
  • Zakres ruchu kątowego ramion od 40° do 90°
  • Bogata baza materiałów umożliwiająca dopasowanie modelu do warunków pomiarowych i mierzonych materiałów.

Każdy proces jest wyceniany indywidualnie w zależności od potrzeb klienta. W celu otrzymania wyceny prosimy o kontakt: technologia_3@cezamat.eu.

Skip to content