Hitachi 8230
Ultrawysokorozdzielczy skaningowy mikroskop elektronowy z zimną emisją polową, z funkcją pomiarów transmisyjnych.
Wytwarzanie warstw
Grupa procesów, których zadaniem jest syntezowanie materiałów, niezbędnych do tworzenia przyrządów na różnego rodzaju podłożach.
Definiowanie wzorów
Odwzorowywanie kształtów ma potrzeby technologii z użyciem fotolitografii oraz elektronolitografii.
Modyfikacja materiału
Modyfikacja właściwości elektrycznych, optycznych, chemicznych i/lub mechanicznych wytworzonych warstw.
Usuwanie warstw
Procesy pozwalające na trawienie oraz czyszczenie materiału w sposób kontrolowany.
Charakteryzacja
Charakteryzacja próbek przy użyciu mikroskopu optycznego, skaningowego mikroskopu elektronowego, elipsometru spektroskopowego.
