Platforma technologii struktur,przyrządów i układów


Platforma technologii struktur,przyrządów i układów

Clean-roomy tej platformy będą musiały sprostać najbardziej wyrafinowanym wymaganiom wynikającym z charakteru prac w nich realizowanych. Odnosi się to nie tylko do ekstremalnie wysokich wymagań odnośnie czystości powietrza, stabilności temperatury i wilgotności powietrza, ale także do czystości stosowanych gazów technologicznych i odczynników chemicznych. Laboratoria tej platformy umożliwią budowanie struktur, przyrządów i układów różnego typu – zarówno elektronicznych, fotonicznych, jak i półprzewodnikowych mikrosystemów, które będą mogły znaleźć zastosowanie w wielu dziedzinach życia, począwszy od komunikacji (przesyłanie i przetwarzanie informacji), poprzez transport, bezpieczeństwo, pozyskiwanie i zarządzanie energią, aż po ochronę zdrowia.

Ze względu na wzajemną niekompatybilność technologii i materiałów, zdecydowano się na podział platformy na następujące strefy-pracownie:

  • Pracownia technologii i fotolitografii krzemowych materiałów półprzewodnikowych,
  • Pracownia technologii i fotolitografii alternatywnych materiałów półprzewodnikowych,
  • Pracownia nanolitografii (m.in. wykorzystująca litografię wiązką elektronową),
  • Pracownia implantacji jonów.


Poszczególne pracownie dedykowane są do prac z użyciem różnych materiałów (krzemowa do krzemu i jego związków, natomiast pracownia półprzewodników alternatywnych skupiać się będzie na półprzewodnikach szeroko przerwowych m.in. do konstrukcji przyrządów elektronicznych dużych mocy oraz do spintroniki półprzewodnikowej). W obu pracowniach technologii materiałów półprzewodnikowych będzie istniała możliwość wytwarzania bardzo cienkich warstw o z góry założonym składzie chemicznym lub jego profilu, o grubościach od pojedynczych warstw atomowych, aż do kilkudziesięciu mikrometrów. Możliwe będzie również wytwarzanie obiektów niezwykle małych (tzw. prętów i kropek); tak małych, że ich rozmiary pozwolą wykorzystać kwantową naturę w praktycznych zastosowaniach. Kluczowe urządzenia technologiczne, które umożliwią realizację takich prac w Cezamacie, to urządzenia do epitaksji z wiązek molekularnych i do osadzania z par związków metaloorganicznych (MOCVD i ALE) oraz do osadzania warstw w atmosferze plazmy wysokoczęstotliwościowej za pomocą magnetronów lub w ultrawysokiej próżni za pomocą wysokoenergetycznej wiązki elektronowej. Budowanie struktur, przyrządów, układów i systemów wymaga także możliwości definiowania wzorów metodami litografii i kontrolowanego trawienia (suchego i plazmowego). W przypadku ekstremalnie małych obiektów stosowana będzie litografia wiązką elektronową (tzw. elektronolitografia), która pozwala na definiowanie wzorów o wielkościach nanometrowych. Pracownia implantacji jonów będzie wykonywać procesy kontrolowanego wprowadzania do wnętrza ciała stałego atomów domieszek na potrzeby wszystkich rodzajów technologii.

Na platformie tej prowadzone będą również prace nad wytworzeniem materiałów i skonstruowaniu na ich bazie przyrządów wykorzystujących zarówno ładunek elektryczny elektronów przepływających przez półprzewodnik (jak w konwencjonalnej elektronice), jak i ich wewnętrzny moment pędu, czyli spin (co może pozwolić na zmniejszenie mocy potrzebnej do zasilania takich przyrządów).

W tej platformie szczególne miejsce zajmuje pracownia technologii hybrydowych, obróbki oraz montażu struktur i układów, która specjalizować się będzie m.in. w montażu i hermetyzacji oraz zamykaniu w obudowy struktur i przyrządów wykonanych w innych pracowniach, nadając im ostateczną formę użytecznego elementu lub układu. Ponadto, prowadzone w niej będą prace nad technologiami nanoszenia warstw i obiektów o wymaganych kształtach na podłoża organiczne i elastyczne (tzw. elektronika elastyczna czy tekstronika).

CEZAMAT informuje, że na swoich stronach www stosuje pliki cookies. Pliki te używamy do gromadzenia danych statystycznych oraz są one niezbędne do prawidłowego funkcjonowania niektórych elementów serwisu - więcej o polityce cookies. We would like to kindly inform you that CEZAMAT website uses cookies. We collect this information in order to create statistics that help to improve our website – more about cookies policy. To find out more about the cookies we use and how to delete them, see our privacy policy.

I accept cookies from this site.

EU Cookie Directive Module Information